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Máquinas de litografia são uma ferramenta importante na fabricação de chips, pois são usadas para gravar padrões de circuitos em wafers de silício que acabam fatiados e cortados para se tornarem chips. Como esses chips podem conter bilhões de transistores, esses padrões devem ser mais finos do que um fio de cabelo humano. Apenas uma empresa fabrica as máquinas de litografia usadas por fundições, a empresa holandesa ASML.
A ministra holandesa de comércio exterior e desenvolvimento, Reinette Klever, anunciou no início deste mês que a ASML deve obter uma licença para enviar suas máquinas de litografia DUV (ultravioleta profunda) de imersão 1970i e 1980i mais antigas para fundições baseadas na China. Anteriormente, uma licença não era necessária para enviar essas máquinas para a China. A litografia DUV pode ajudar as fundições a fabricar chips usando um nó de processo tão “pequeno” quanto 7 nm. E agora são necessárias licenças para que essas máquinas mais antigas sejam atendidas pela ASML.
A ASML não tem permissão para enviar máquinas EUV de alta NA para fundições chinesas. | Crédito da imagem-ASML
Eventualmente, as proibições que impedem as fundições na China de obter equipamentos de litografia EUV podem não importar. A Shanghai Micro Electronics Equipment entrou com um pedido de patente para produzir peças para uma máquina EUV e, se a empresa receber a patente, poderá ajudar empresas como a SMIC a obter suas próprias máquinas EUV que não estão sujeitas às restrições dos EUA. Paul Van Gerven, editor da revista de tecnologia holandesa Pedaços e Batatas Fritas, diz: “Se os holandeses começarem a reagir, os EUA provavelmente introduzirão restrições adicionais por conta própria.”
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